清浄とはどのような処理ですか？

清浄処理は主に以下の2つに分類されます：

 

１.洗浄
２.除錆

 

それぞれの処理方法と特徴について説明します。

 

洗浄処理：
a) 浸漬除錆：
部品を洗浄液に浸漬し、油脂や汚れを除去します。例えば、アルミニウム合金製の半導体製造装置部品では、アルカリ洗浄剤による腐食を防ぐため、中性洗剤を使用した精密洗浄を行っています。

b) 湿式洗浄：
高圧スプレーや超音波洗浄機を使用し、複雑な形状の部品も効果的に洗浄します。弊社の強みは、大型部品にも対応可能な大型超音波洗浄機を保有していることです。最大φ1000mm、長さ2000mmまでの大型シャフトやフランジの洗浄が可能です。

c) 乾式洗浄：
ドライアイスブラストや炭酸ガスクリーニングなど、水を使用しない洗浄方法です。特に、水分が悪影響を及ぼす精密電子部品の洗浄に適しています。弊社では、半導体製造装置部品の最終仕上げ洗浄にこの方法を採用し、高い清浄度を実現しています。

2. 除錆処理：
a) ブラスト：
研磨材を高速で吹き付け、表面の錆や酸化皮膜を除去します。弊社では、ガラスビーズやアルミナなど、様々な研磨材を使用し、素材や要求される表面粗さに応じた最適なブラスト処理を行います。例えば、ステンレス鋼製の大型フランジでは、ガラスビーズを使用したブラスト処理により、均一な梨地仕上げを実現しています。

b) 液体ホーニング：
研磨材を含んだスラリーを噴射し、表面を均一に仕上げます。弊社では、高精度シャフトの表面仕上げに液体ホーニングを採用し、Ra0.2μm以下の表面粗さを安定して実現しています。

c) バレル研磨：
部品と研磨材を回転槽に入れ、摩擦により表面を研磨します。弊社では、小型から中型の部品の大量処理に適用し、効率的な表面仕上げを行っています。