VA/VE (加工技術FAQ)

エッチングは、金属や半導体材料の表面を化学的または物理的に除去し、微細な加工や表面処理を行う技術です。

エッチングには主に以下の3種類があります

化学エッチング：
化学薬品を使用して材料表面を溶解させる方法です。ステンレス鋼やチタン合金などの難削材に対して、この技術が活用されます。例えば、半導体製造装置用の大型フランジに微細な溝パターンを形成する際に使用しています。化学エッチングのは複雑な形状や微細なパターンの加工が可能で、材料に対する機械的ストレスが少なく大面積の均一加工が可能です。

電解エッチング：
電解液中で電流を流し、アノード側の金属を溶解させる方法です。高硬度材料や電気伝導性の高い材料のエッチングに適しています。例えば、工作機械主軸用の高精度軸受け部品の表面処理に適しています。電解エッチングは高速処理が可能で、材料選択性が高く、表面粗さの制御が容易です。

乾式エッチング：
プラズマやイオンビームを使用して材料表面を除去する方法です。特に半導体製造装置部品の精密加工に活用されています。例えば、ガス供給系部品の内面処理に使用し、ガスの付着や残留を防止する、などの用途に使用できます。乾式エッチングの特徴としては、高精度な異方性エッチングが可能、真空中での清浄な処理が可能、環境負荷が少ない等が挙げられます。